綜合報道，美國公司Zyvex宣布推出世界上製造精密度最高的微影系統--Zyvex Litho1，可製作出0.7納米晶片，該曝光機製造出來的晶片主要用於量子電腦。

據Zyvex官網稱，Zyvex Litho1系統基於STM掃描隧道顯微鏡，使用EBL電子束微影技術，成功製造0.7納米晶片，相當於2個硅原子的寬度，是當前製造精密度最高的微影系統。

該EBL系統專門提供予量子電腦使用，雖然技術大幅領先荷蘭ASML EUV，惟產量非常低，不可能應付市面晶片需求，亦即無法取代EUV地位。

STM技術發明者、伊利諾伊大學教授Joe Lyding表示，到目前為止，Zyvex實驗室的技術是最先進的，亦是這種原子級精確微影技術的唯一商業化實現。